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超音波ジェネレーターの特長

  • 分離式振動方式を採用し、負荷の影響を受けにくく、安定した出力を実現。
  • 内部は分割出力設計のため、マッチングが容易。
  • 出力周波数は ±5% の範囲で調整可能。
  • 単一周波数出力、または多周波スキャン出力を選択可能。

毎秒2万~16万回の超音波振動により、水分子にキャビテーション(爆破力)を発生させ、微細な汚染物を効率的に除去する洗浄装置です。

10~0.1µmレベルの微細汚染粒子の洗浄に対応
切削加工時に発生する油汚れの除去
船底に付着した貝類・付着生物の除去
半導体ウエハ洗浄
石英部材の洗浄
光学レンズ・精密部品の洗浄

仕様(Specifications)

外形寸法:図面参照
周波数:20kHz ~ 165kHz
出力:300W ~ 2400W
オプション機能
 - 異常出力検知
 - 過電流保護機能
 - 無電圧接点(ドライコンタクト)トリガー対応

周波数選定ガイド(Frequency Selection Guide)

肉眼で確認できる油汚れ・重度汚染物
 → 20kHz ~ 28kHz を推奨
 (洗浄力が強く、付着性の高い油汚れや重汚染に最適)

汚染物粒径 10μm 以上
 → 40kHz を推奨
 (洗浄力と安定性のバランスが良く、一般工業部品向け)

汚染物粒径 10μm 以下
 → 100kHz 以上 を推奨
 (キャビテーション気泡が微細で、高精度部品・高表面品質用途に最適)

投入式超音波振動子ユニット

各種形式の振動ボックス

かんしき しんどう

洗浄対象物