メガソニックの特長：
- ホットメルト焼成方式を採用し、出力が強く均一
- 田字型配線構造により、配線が均等で発熱の集中を防止
- 設置する水槽サイズに応じて、振動子ユニット形状のカスタマイズが可能
- 選択可能な周波数：
200 kHz ／ 750 kHz ／ 1,000 kHz
特長・用途
周波数 200 kHz～1,000 kHz、毎秒 20万～100万回 の高周波振動により、
水分子に強力な微細キャビテーションエネルギーを付与。
微小汚染物を効率よく除去できる高性能洗浄ツールです。
- 0.2 µm レベルの微粒子汚染を除去
- ウエハ洗浄
- 石英部品の洗浄
- 光学レンズの精密洗浄
項目 | 仕様 |
|---|---|
型番 | Megasonic |
外形寸法 | 図面による |
周波数 | 200 kHz ～ 1,000 kHz |
出力 | 300 ～ 600 W（1ボックスあたり） |
付属品 | 出線部：硬管／軟管 選択可、吊り下げフック |
0.2 µm レベルの微粒子汚染には、1,000 kHz 周波数を推奨。
周波数の選択： | |||
|---|---|---|---|
汚染物 1～0.2 µm | 200KHz~1000KHz | ||
メガソニックの原理
1000kHzの効果
200kHzの効果
1000kHzの特徴
ウェハせんじょう
