超音波霧化化學氣相沉積法(Mist-CVD)

常壓製程（不須真空）

雙層設計，可噴塗弱酸鹼性液體

可更換藥杯設計，實驗超方便

2.4MHz霧化片，粒徑可達1～3um

霧化量外部可無段控制

倒計時功能，無須人員在旁

安裝電子式浮球防乾燒，無水即停止工作